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本文分析了多层膜层数对多层膜应力场的影响，发现增大膜层的层数能够很好的保护基底，降低膜层与基底界面上的应力，减小膜层中的张应力。但是对于薄膜表层，则由于增大膜层层数，使得膜层表面的硬层变薄，导致表面硬度降低，引起膜层表面在压头压入时变形加剧，张应力变大，容易引起纵向裂纹的扩展；同时也使接近表面的软膜塑性应变加大，容易产生裂纹和剥落。4、利用本文所编制的计算程序，对纳米硬度实验进行了计算模拟，得出在对TiN/Ti六层膜进行纳米硬度实验时，由于要得到膜层的硬度值，所以压入深度相对于膜层组分层厚度应该大于23％；在对TiN单层膜进行纳米硬度实验时，由于要避免基底进入塑性，因此对于单层膜的纳米硬度测试，压头的压入深度相对于膜层厚度应该小于1/5。 依据上面的结果，提出梯度变化的多层膜能够更好的改善膜层中的应力场，并指出了多层膜未来研究的一个方向。同时本文也对多层膜和单层膜纳米硬度实验中压头的压入深度相对于膜层组分厚度的大小进行了探讨。