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近年来，微电子技术和计算机技术的发展已成为促进伺服控制技术向高性能发展的技术基础。随着大规模集成电路技术的发展，DSP芯片得到了飞速的发展，在信 处理、通信、、遥感、和图象处理、电子测量、自动控制等许多领域得到广泛的应用。
  在超精密机床伺服控制方面，为使机床工作台达到亚微米级的线性运动精度，现代控制技术的引入显得极为必要。精细化的控制单位、以微小程序段实现连续进给，已成为超精密数控加工的显著特点，超精数控加工的插补周期已经达到毫秒级。
  大数据量、高精度的插补运算和控制，要求计算机系统能高速度地对加工指令作出反应，高速处理并计算出伺服电机的移动量，随后发出控制指令。DSP的数据吞吐能力高达数十MIPS，同时其指令周期短至几十纳秒，非常适合于大数据量的高速数据采集系统和实时控制系统。
  将DSP应用于高性能的超精密数控系统的不失为一种好的策略。事实上，DSP微处理器在超精密伺服控制系统、检测补偿和快速伺服装置、机床保护等方面都有着成功的应用。的设计和研制，并了成功。其核心是ADSP2181芯片，插补周期达到5ms控制周期为0.5ms，编程分辨率为2nm，已具备了实际工况应用的基本条件。
  具有如下的典型性能：压电陶瓷伺服装置金刚石误差补偿表在一个指令周期内可完成一次乘法和一次加法；程序和数据空间分开，可以同时访问指令和数据；片内具有快速RAM，通常可通过的数据总线在两块中同时访问；。
  2数字信 处理器的典型性能数字信 处理器器件的主要应用是实时快速地实现各种数字信 处理算法。作为典型的DSP器件，ADSP2181的功能结构如示。ADSP2181芯片的MAC（―次乘法和一次加法）时间已经达到33ns芯片的引脚数量则已达到200个以上，引脚数量的增加，意味着结构灵活性的增加，如外部存储器扩展和处理器间的通信等。
  同时，DSP芯片的发展，使DSP系统的成本、体积、重量和功耗都有很大程度的下降。―般都具有良好、的工具和汇编语言支持。ADSP2100系列的各个提供编译和连接的工具，用以生成可执行文件，可执行文件可以写入DSP程序存储区。
  DSP同时拥有，可以对程序运行、中断、定时等进行，从而具有极大的方便性，非常适合数控的需要。3DSP在超精密数控系统中的应用数控系统可以分为单处理器和多处理器两种类型。单处理器系统以单个CPU作为控制核心，所有功能都由一个CPU分时执行，其编程十分复杂，机床的进给速度也受到影响。
  多处理器系统的典型是主从处理器结构，主CPU完成前台控制，即人机界面管理、信息显示和预处理等工作；从CPU完成后台控制即插补运算、伺服控制及反馈处理等工作，负责的数据运算和I/O操作。超精密数控系统的插补周期极短、插补间隔小、其控制和插补运算相当，从而要求数控系统在极短的时间内对各轴反馈的位置信 进行处理，目前插补周期已经达到毫秒级。
  单处理器数控系统很难达到如此快的数据处理速度，从而使多处理器系统的采用成为必然。DSP器件由于其强大的数据运算能力和极高的运算速度，对超精密数控系统的来说是一种的选择，并为超精密数控系统中先进控制算法的采用提供了可能。
  事实上，DSP器件在超精密数控加工的伺服控制、补偿及快速伺服、先进控制算法采用、机床保护系统等方面都有着广泛而有效的应用。3.1基于DSP的伺服控制系统高速的DSP微处理器，可以实现超精机床的高精度位置伺服控制与轮廓加工控制，同时提供机床及的热效应和几何误差补偿与控制。
  如Faunc15-BCNC系统采用具有33MHz主频双精度64字长的MC68EC030双CPU微处理器实现了具有1nm的高速CNC控制系统，在高精度轮廓加工控制方面，实现自动进给率控制以保证加工的轨迹在轨迹的允许误差范围之内。期，ADSP2181完成的基本工作流程内容为：读取指令位置、计算并形成新轨迹、查询并处理外部事件、对执行机构运动进行控制。
  采用主从式多处理器的超精CNC结构ADSP2181具有16位字长，可在33ns内完成任何一条指令。由于具有极高的运算速度，该系统的插补周期和采样控制周期分别达到2ms和0.5ms，大大了系统的敏捷性和实时性。与之相应，实验加工中的控制精度达到了0.m，与常规的主机控制、插补控制周期一体化的加工精度相比，综合精度指标极大。
  3.2采用DSP改进控制算法高速度高性能的微处理器，尤其是数字信 处理器（DSP）的应用，使许多先进控制策略和方法，如自适应控制、学习控制、摩擦控制等等，得以应用于高精度伺服控制系统，大大了的控制精度和快速性。
  er提出了“直接阻尼控制（DDC）算法，并以TMS320C30实现。该算法在使机床定位与跟踪控制精度达到亚微米级的同时，有效地减小了超精密机床的动态振动噪声对机床定位精度的影响。ezawaetal采用TMS320C30实现了PID+摩擦补偿控制算法，使超精密工作台高速定位精度达到0.YH-I型超精密数控系统基于ADSP2181强大的数据处理能力，实现了FuzzrPid复合控制。
  伺服控制系统的采样率达到2KHz.在实际运行中，该系统将每个插补周期分为10个控制周期进行伺服控制，从而对插补过程构成更为有效的控制，使曲线插补更加准确。结果表明：该方法大大了系统对曲线跟踪的准确性和快速性。
  3.3DSP在和伺服方面的应用为了对进给运动中的系统误差进行补偿，YH~I超精密数控系统采用自研的压电陶瓷，以ADSP2181微处理器构成伺服结构，实现了开环的伺服控制，其原理结构为：原理结构图由于ADSP2181的快速运算能力，可以对每个插补控制周期的补偿数据进行迅速而准确的运算。