净化工程技术参数

在无尘车间内安装和更换过滤器方便的优点，过滤器采用机械压紧或液槽密封装置，确保风口安装无泄露，密封可靠，净化效果好，对一般净化工程均可适用。传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间，或无尘车间与无尘车间之间的小货物传递，可有效的减少无尘车间门的开启次数，把洁净区的污染减少的低程度。根据使用要求，传递窗箱体表面可喷塑，内胆可用不锈钢，外表美观。传递窗的两扇门采用电控连锁或机械连锁装置，可有效的防止低洁净等级区内的灰尘带入高洁净区内，是净化车间必备佳品。通风拄井是通过由彩钢板安装而形成的通风管道。一般设置于洁净去内，其上可安装通风口，通过设计使洁净区内气流布置合理，经常别回风系统和排风系统采用。结构形式上有三角行柱和方形柱两种

控制无尘车间空气参数的目的—检查无尘车间是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的无尘车间检测阶段，还是无尘车间使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议（16）中都详细地制订了和提出了无尘车间空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。在无尘车间内，按其用途的不同应控制下列参数：测试状态的确定；空气中粒子的浓度；气流的风速和单向性（对单向气流而言）；风量和换气次数；终过滤器的整体性；空气温度和湿度；无尘车间的密闭性；无尘车间表面的洁净度；测试状态的确定：根据设计要求，一般无尘车间都是对无尘车间内的空气进行静态检测。一般不做动态检测，如需动态检测，需要制定或参照其他标准。

无尘车间实验室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。无尘车间内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选在0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加。

关于净化工程（洁净室）造价的影响因素也存在着多个方面。温湿度洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，盐城净化工程，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。无尘净化工程中，材料的选用非常重要，合理的选择会起到很好的作用，再次阐述有关选择无尘净化工程装修材料的要求：无尘净化车间在室内装修设计中。

净化工程中空气净化处理方案，净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。净化空气调节系统如需电加热时，净化工程公司，应选用管状电加热器，位置应布置在高1效空气过滤器的上风侧，并应有防火措施。送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、高1效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求。

净化间、洁净间的维护。为确保净化效果,洁净区域回风过滤网、排风过滤网的清洗至少每周1次,对于污染概率较大的区域以尽量做到3日1次。(2)室外新风过滤网、排风口过滤网的清新至少每月1次。清扫过滤网时将室外防雨百叶窗拿下,清洗内部过滤网,若不能取下的过滤网,应用干净的扫帚清扫或抹布擦拭。(3)去污区域新风机组冷冻水管过滤器应定期清理,建议至少每季度1次。(4)净化机组过滤器做到及时清理更换。初效过滤器每月清理1次,半年更换1次,中效过滤器半年更换1次,过滤器每年更换1次。(5)为节约能源,净化工程的冷热源采取双路,即分别由锅炉房、中央空调和净化空调提供。换季时净化机组冷热源的切换,即春秋季使用室外净化空调独立模块机,冬夏季使用锅炉房、中央空调系统。